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主要用途：所述的光学检查中的电性检查，只能消极地找出像素缺陷的位置，而激光修补的目的，是进一步地希望能将有缺陷的部分加以改正，使原本筛选出来要丢弃浪费的产品，修补成可接受的产品。以目前可以接受的产品标准，首先是不能有线缺陷；其次，目前许多产品有“无亮点保证”，因此也不能有像素是一直发光的亮点，但可以某种程度地接受少数暗点。所以激光修补的对象，是以线缺陷和亮点为主。
激光修补的方式：熔接：在有二层金属相互重叠的跨越之处，以适当能量和波长的激光，可将金属化开而熔接在一起，使两个原本不相连的电极形成短路。在设计时需考虑重叠面积的大小与其和周边其他金属的距离。在单层金属布线之外，以适当能量和波长的激光，可将金属化开而切断原来的布线。在设计时需要考虑宽度的大小与其和周围其他金属的距离。
设备参数：
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一般项目 |
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工作限高 |
100mm（含）以下 |
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工作限重 |
30公斤（含）以下 |
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外型尺寸 |
2320mm × 2160mm × 2000mm（以实际设计为准） |
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机器重量 |
1.2吨（含）以下 |
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● 適用LCD面板尺寸65寸 |
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● 点(3um X 3um)、线(长50um X 3um)、块(50um X 50um)修补 |
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● 光闸紅光与紅框双重显示 |
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● 光闸尺寸、镜头倍率及雷射功率参数储存与选用 |
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● 工作电源 220V、30A |
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● 无熔丝保护断路器保护 |
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● 靜电手环连接点( 3M ) |
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● 工作环境溫度 20 ℃ ~ 30 ℃＋ / － 5 ℃ |
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● 工作环境相对湿度 65 ± 5 ％ RH |
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镭射系统 |
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镭射类型 |
ND-YAG LASER |
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波 长 |
1064/532 nm 双波长 (532nm 为调整光轴波长 ) |
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冷却方法 |
水冷式 |
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镭射功率 |
5mJ/Pulse |
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发振频率 |
1 ~ 20 Hz/ 秒 |
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peak power |
0.7mW |
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1064波幅 |
8 ~ 6 nsec |
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输出能量控制 |
512steps for 0-100% Hi/Low switch-able |
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Flash Lamp Life Time |
1年或大于1000000shots |
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镭射发振器保固期 |
1年 |
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介面 |
RS -232 |
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以实际镭射配置规格为准 |
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加工载台及X/Y/Z轴驱动系统 |
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工作平台尺寸 |
1250 mm X 900 mm |
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载台材质 |
精密研磨光学玻璃平台 |
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载台底座 |
机密钢构底座 |
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XY轴有效行程 |
1250 mm X 900 mm |
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XY轴驱动形式 |
伺服马达系统搭配机密螺杆 |
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XY轴***小解析度 |
1um/pulse |
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重现性 |
小于等于5 um |
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Z轴行程 |
100mm |
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Z轴驱动形式 |
伺服马达系统搭配机密螺杆 |
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Z轴***小解析度 |
0.1um/pulse |
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以实际设计配置为准 |
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光学影像系统 |
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显微镜 |
观测/镭射加工专用型 |
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CCD |
1/2”color CCD |
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落射光源 |
高亮度卤素光源系统（100W） |
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透射光源 |
高亮度卤素光源系统（150W） |
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Guide Light |
高亮度卤素光源系统（100W） |
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物镜切换系统 |
4孔/电动切换式（线性） |
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精密物镜组 |
5倍、10倍、20倍、50倍（后两者具备观测/镭射加工功能） |
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Laser slit |
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修补尺寸 |
Min:3um*3um |
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OS |
Windows system |
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HD |
500G*1 |
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RAM |
2G |
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Language |
简体中文 |
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Monitor |
19”monitor |
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Key board |
ATS-standard |
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Mouse |
ATS-standard |
